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Keithley 4200A-SCS 參數分(fēn)析儀
使用(yòng) 4200A-SCS參數分(fēn)析儀（參數測試儀）加快各類材料、半導體(tǐ)器件和先進工(gōng)藝的開發，完成制程控制、可(kě)靠性分(fēn)析和故障分(fēn)析。4200A-SCS是業内性能(néng)領先電(diàn)學(xué)特性參數分(fēn)析儀，提供同步電(diàn)流電(diàn)壓曲線(xiàn)測試 (I-V曲線(xiàn)測試)、電(diàn)容-電(diàn)壓曲線(xiàn)測試 (C-V曲線(xiàn)測試) 和超快脈沖 I-V曲線(xiàn)測量。
使用(yòng)4200A-SCS 參數分(fēn)析儀進行1/f 電(diàn)流噪聲測量
4200A-SCS 參數分(fēn)析儀優化低電(diàn)流測量
應用(yòng)文(wén)章：如何用(yòng)半導體(tǐ)參數分(fēn)析儀進行斜坡法準靜态C-V測量
(I-V) 範圍
10 aA - 1A
0.2 µV - 210 V
(C-V) 範圍
1 kHz - 10 MHz
± 30V 直流偏置
範圍
±40 V (80 V p-p)，±800 mA
200 MSa/s，5 ns 采樣率
參數查看，快速清晰。
推進大膽發現從未如此容易。4200A-SCS 參數分(fēn)析儀從設置到運行檢定測試的時間減少高達 50％，從而實現無與倫比的測量和分(fēn)析能(néng)力。此外，嵌入式測量專業知識提供無與倫比的測試指導，并讓您對最終結果充滿信息。
特點
- 用(yòng)于 DC IV、CV 和脈沖 IV 測量類型的高級測量硬件
- 立即使用(yòng) Clarius 軟件中(zhōng)所含的數百種用(yòng)戶可(kě)修改應用(yòng)程序測試開始測試
- 自動實時參數提取、數據繪圖、分(fēn)析函數
準确的 C-V 表征
使用(yòng)吉時利最新(xīn)的電(diàn)容-電(diàn)壓單元 (CVU) 4215-CVU 測量一位數飛法。通過将 1 V AC 電(diàn)源集成到吉時利行業領先的 CVU 架構中(zhōng)，4215-CVU 可(kě)在 1 kHz 至 10 MHz 的頻率下進行低噪聲電(diàn)容測量。
特點
- 同類産(chǎn)品中(zhōng)一款能(néng)夠驅動1 V AC 電(diàn)源電(diàn)壓的 CV 表
- 1 kHz 頻率，分(fēn)辨率從1 kHz 到 10 MHz
- 測量電(diàn)容、電(diàn)導和導納
- 使用(yòng) 4200A-CVIV 多(duō)路開關最多(duō)可(kě)測量四個通道
測量、 切換、 重複。
4200A-CVIV 多(duō)通道切換模塊自動在 I-V 和 C-V 測量之間切換，無需重新(xīn)布線(xiàn)或擡起探頭端部。 與競争産(chǎn)品不同，四通道 4200A-CVIV 顯示器提供本地可(kě)視查看，可(kě)快速完成測試設置，并在出現意想不到的結果時輕松排除故障。
特點
- 無需重新(xīn)布線(xiàn)即可(kě)将 C-V 測量移動到任何設備終端
- 用(yòng)戶可(kě)配置低電(diàn)流功能(néng)
- 個性化輸出通道名(míng)稱
- 查看實時測試狀态
穩定的低電(diàn)流測量，适用(yòng)于 I-V 檢定
使用(yòng) 4201-SMU 和 4211-SMU 模塊，您可(kě)以在高電(diàn)容系統中(zhōng)實現穩定的低電(diàn)流測量。4200A-SCS 有(yǒu)四種型号的源測量單位 (SMU) 可(kě)供選擇，可(kě)通過定制滿足您所有(yǒu)的 I-V 測量需求。通過提供現場可(kě)安(ān)裝(zhuāng)單元和可(kě)選的預放大器模塊，Keithley 可(kě)确保您獲得準确的低電(diàn)流測量，而停機時間很(hěn)少甚至沒有(yǒu)。
特點
- 不必将儀器送回工(gōng)廠即可(kě)增加 SMU
- 進行 飛安(ān)測量
- 多(duō)達 9 個 SMU 通道
- 針對長(cháng)電(diàn)纜或大卡盤進行了優化
帶分(fēn)析探測器和低溫控制器的集成解決方案
4200A-SCS 參數分(fēn)析儀支持許多(duō)手動和半自動晶片探測器和低溫控制器，包括 MPI、Cascade MicroTech、Lucas Labs/Signatone、MicroManipulator、Wentworth Laboratories、LakeShore Model 336 低溫控制器。
特點
- “點擊”測試定序
- “手動”探測器模式測試探測器功能(néng)
- 假探測器模式無需移除命令即可(kě)實現調試
降低成本并保護您的投資
吉時利保障計劃以按需服務(wù)事件的一小(xiǎo)部分(fēn)成本提供快速、高質(zhì)量的服務(wù)。 隻需點擊一下或撥打一個電(diàn)話即可(kě)獲得維修服務(wù)，在此過程中(zhōng)，無需報價或填寫采購(gòu)單，也不會有(yǒu)審批延誤。
| 産(chǎn)品技(jì )術資料 | 型号 | 描述 | 價格 |
|---|---|---|---|
| 查看産(chǎn)品技(jì )術資料 | 4200A-SCS-PKA 高分(fēn)辨率 IV 套件 |
4200A-SCS：參數分(fēn)析儀主機 4201-SMU：兩個用(yòng)于高容量設置的中(zhōng)功率 SMU 4200-PA：一個預放大器 8101-PIV：一個帶有(yǒu)采樣裝(zhuāng)置的測試夾具(jù) |
索取報價 |
| 查看産(chǎn)品技(jì )術資料 | 4200A-SCS-PKB 高分(fēn)辨率 IV 和 CV 套件 |
4200A-SCS：參數分(fēn)析儀主機 4201-SMU：兩個用(yòng)于高容量設置的中(zhōng)功率 SMU 4200-PA：一個預放大器 4215-CVU：一個高分(fēn)辨率多(duō)頻 C-V 單元 8101-PIV：一個帶有(yǒu)采樣裝(zhuāng)置的測試夾具(jù) |
索取報價 |
| 查看産(chǎn)品技(jì )術資料 | 4200A-SCS-PKC 高功率 IV 和 CV 套件 |
4200A-SCS：參數分(fēn)析儀主機 4201-SMU：兩個用(yòng)于高容量設置的中(zhōng)功率 SMU 4211-SMU：兩個用(yòng)于高容量設置的高功率 SMU 4200-PA：兩個預放大器 4215-CVU：一個高分(fēn)辨率多(duō)頻 C-V 單元 8101-PIV：一個帶有(yǒu)采樣裝(zhuāng)置的測試夾具(jù) |
索取報價 |
| 查看産(chǎn)品技(jì )術資料 | 4200-BTI-A 超快 NBTI/PBTI 套件 |
用(yòng)于使用(yòng)尖端矽 CMOS 技(jì )術進行的複雜 NBTI 和 PBTI 測量 4200-BTI-A 套件包括：
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索取報價 |
生物(wù)傳感器檢定
生物(wù)傳感器或 bioFET 将對分(fēn)析物(wù)的生物(wù)響應轉換為(wèi)電(diàn)信号。集成到 4200A-SCS 中(zhōng)的 Clarius 軟件包括一個用(yòng)于測試 bioFET 的項目。以此為(wèi)起點檢定生物(wù)傳感器的傳輸和輸出特性，并從這裏展開工(gōng)作(zuò)。
下載生物(wù)傳感器應用(yòng)指南以開始使用(yòng)
飛法電(diàn)容測量
使用(yòng) 4215-CVU 模塊測量亞毫微微法拉電(diàn)容。通過驅動 1 V AC，在測量 1 fF 電(diàn)容器時，4215-CVU 的噪聲水平可(kě)低至 6 attofarad。這隻是 Clarius 軟件随附的用(yòng)于測量電(diàn)容和提取重要參數的數十種應用(yòng)程序之一。
使用(yòng) 4215-CVU 進行 Femtofarad (1e-15F) 電(diàn)容測量
特點
- 内置飛法測量功能(néng)
- 從 1kHz 到 10MHz 的 10,000 個頻率步進
- 使用(yòng)用(yòng)戶庫定制任何設備的任何測試
半導體(tǐ)和 NVM 可(kě)靠性
通過全面脈沖 I-V 檢定在測試中(zhōng)利用(yòng)新(xīn)技(jì )術。 4200A-SCS 為(wèi)最新(xīn) NVRAM 技(jì )術提供支持和即用(yòng)型測試，從浮動門電(diàn)路閃存到 ReRAM 和 FeRAM，不一而足。 電(diàn)流和電(diàn)壓雙源和測量功能(néng)同時支持瞬态和 I-V 域檢定。
提供适合高阻抗應用(yòng)的 C-V 測量功能(néng)
采用(yòng) Keithley 的自定義極低頻 C-V 技(jì )術分(fēn)析高電(diàn)阻樣本的電(diàn)容。 該技(jì )術可(kě)通過僅使用(yòng)源測量單元 (SMU) 儀器實現應用(yòng)，同時可(kě)與 4210-CVU 結合使用(yòng)，執行更高頻率測量。
4200A-SCS 參數分(fēn)析儀可(kě)在高阻抗設備上執行極低頻電(diàn)容-電(diàn)壓測量
簡化 MOSFET/MOSCAP 設備檢定的提示和技(jì )術
特點
- .01 ~ 10 Hz 頻率範圍，1 pF ~ 10 nF 靈敏度
- 3½ 位典型分(fēn)辨率，最小(xiǎo)典型值 10 fF
使用(yòng)長(cháng)電(diàn)纜或電(diàn)容式夾具(jù)時進行測試
當測試需要非常長(cháng)的電(diàn)纜或具(jù)有(yǒu)較高電(diàn)容的夾具(jù)時，請使用(yòng) 4201 或4211-SMU。這些 SMU 非常适合連接 LCD 測試站、探測器、開關矩陣或任何其他(tā)大型或複雜的測試儀。現場可(kě)安(ān)裝(zhuāng)版本使您無需将設備返回服務(wù)中(zhōng)心即可(kě)增加容量。
使用(yòng) 4201-SMU 和 4211-SMU，通過高測試連接電(diàn)容進行穩定的低電(diàn)流測量
材料電(diàn)阻率
使用(yòng)集成了 SMU 的 4200A-SCS，可(kě)通過四點同軸探頭或範德(dé)堡法輕松測量電(diàn)阻率。 内含測試可(kě)自動重複執行範德(dé)堡計算，節省您寶貴的研究時間。 10aA 的最大電(diàn)流分(fēn)辨率和大于 1016 歐姆的輸入阻抗可(kě)提供更準确和精(jīng)準的結果。
4200A-SCS 參數分(fēn)析儀和四點同軸探頭可(kě)用(yòng)于執行半導體(tǐ)材料電(diàn)阻率測量
MOSFET 檢定
4200A-SCS 可(kě)容納所有(yǒu)必要的儀器，用(yòng)于通過組件或晶圓測試執行全面的 MOS 設備檢定。 内含測試和項目可(kě)以解決 MOSCap 的氧化物(wù)厚度、門限電(diàn)壓、摻雜濃度、移動離子濃度等問題。 隻需觸摸一個儀器盒中(zhōng)的按鈕，即可(kě)運行所有(yǒu)這些測試。
| 産(chǎn)品技(jì )術資料 | 模塊 | 描述 | 配置和報價 |
|---|---|---|---|
| 查看産(chǎn)品技(jì )術資料 | 4200-SMU | 中(zhōng)功率源測量單位 | 配置和報價 |
| 查看産(chǎn)品技(jì )術資料 | 4200-BTI-A | 超快速 BTI 包 | 配置和報價 |
| 查看産(chǎn)品技(jì )術資料 | 4200-PA | 遠(yuǎn)程預放大器模塊 | 配置和報價 |
| 查看産(chǎn)品技(jì )術資料 | 4200A-CVIV | IV CV測試切換開關 | 配置和報價 |
| 查看産(chǎn)品技(jì )術資料 | 4201-SMU | 中(zhōng)功率源測量單元 | 配置和報價 |
| 查看産(chǎn)品技(jì )術資料 | 4210-SMU | 大功率源測量單元 | 配置和報價 |
| 查看産(chǎn)品技(jì )術資料 | 4211-SMU | 高功率源測量單元 | 配置和報價 |
| 查看産(chǎn)品技(jì )術資料 | 4215-CVU | 電(diàn)容電(diàn)壓CV測量單元 | 配置和報價 |
| 查看産(chǎn)品技(jì )術資料 | 4220-PGU | 高電(diàn)壓脈沖發生器單元 | 配置和報價 |
| 查看産(chǎn)品技(jì )術資料 | 4225-RPM | 遠(yuǎn)程預放大器/開關模塊 | 配置和報價 |
| 查看産(chǎn)品技(jì )術資料 | 4225-PMU | 超快速脈沖IV測量單元 | 配置和報價 |
從實驗室到晶圓廠的自動化控制
Keithley 自動化檢定套件 (ACS) 可(kě)完全控制您的設備。無論您是需要控制工(gōng)作(zuò)台上的幾台儀器，還是需要自動化整個測試機架以進行生産(chǎn)，ACS 均能(néng)為(wèi)設備檢定、參數測試、可(kě)靠性測試和簡單的功能(néng)測試提供靈活的交互式環境。
- 執行簡單的一次性測試或構建複雜的項目樹
- 在 ACS 中(zhōng)使用(yòng) Python 編寫代碼以獲得無限靈活性和控制力
- 手動或自動晶圓探測器控制
- 數據管理(lǐ)和統計分(fēn)析功能(néng)
Clarius+ 分(fēn)析套件
通過 Clarius+ 軟件套件，您可(kě)以輕松獲得材料和設備的檢定洞察。Clarius 在 4200A-SCS 上本地運行，可(kě)規劃、配置和分(fēn)析測試結果。此外，還可(kě)将 Clarius 安(ān)裝(zhuāng)在任何 Windows 10 PC 上，以便在實驗室中(zhōng)運行測試之前規劃和配置測試，或在收集數據後分(fēn)析數據。
- 200 多(duō)項預先配置的測試，可(kě)加速實驗室運轉
- 由 Keithley 工(gōng)程師精(jīng)心收集的真實數據
- 内置上下文(wén)幫助和應用(yòng)程序指南
- 提供監控模式，可(kě)實時查看結果